X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®
237采用手動(dòng)或自動(dòng)方式,測量和分析微小結(jié)構(gòu)的印刷線路板、電氣元件及大規(guī)模生產(chǎn)的零部件上的鍍層。典型的應(yīng)用領(lǐng)域有:
1,測量大規(guī)模生產(chǎn)的電鍍零部件
2,測量微小區(qū)域上的薄鍍層
3,測量電子工業(yè)或半導(dǎo)體工業(yè)中的功能性鍍層
4,全自動(dòng)測量,如測量印刷線路板
X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®
237為每次測量創(chuàng)造理想的激發(fā)條件,儀器配備可電動(dòng)調(diào)整的多個(gè)準(zhǔn)直器和基本濾片。比例接收器能實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率,這樣就可以進(jìn)行高精度測量。FISCHERSCOPE®-X-RAY XDLM237系統(tǒng)有著出色的精-確性和良好的長期穩(wěn)定性,這樣就不需要經(jīng)常校準(zhǔn)儀器,節(jié)省時(shí)間和精力。由于采用了基本參數(shù)法,無論是鍍層系統(tǒng)還是固體和液體樣品,都能在沒有標(biāo)準(zhǔn)片的情況下進(jìn)行分析和測量。
X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®
237設(shè)計(jì)理念:
1,F(xiàn)ISCHERSCOPE X-RAY XDLM237設(shè)計(jì)為界面友好的臺(tái)式測量儀器系列,配備了馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的X/Y工作臺(tái),當(dāng)保護(hù)門開啟時(shí),工作臺(tái)會(huì)自動(dòng)移到放置樣品的位置。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可編程Z軸升降系統(tǒng)。
2,高分辨率的彩色視頻攝像頭可方便精-確定位測量位置。配備了激光點(diǎn),可以輔助定位并快速對(duì)準(zhǔn)測量位置。
3,測量箱底部的開槽是專為面積大而形狀扁平的樣品所設(shè)計(jì),由此儀器就可以測量比測量箱更長和更寬的樣品。例如:大型的印制電路板。
4,帶有放大功能和十字線的集成視頻顯微鏡簡化了樣品擺放,并且允許測量點(diǎn)的精-確調(diào)整。
5,所有的儀器操作,以及測量數(shù)據(jù)的計(jì)算和測量數(shù)據(jù)報(bào)表的清晰顯示,都可以通過功能強(qiáng)大而界面友好的WinFTM®軟件在電腦上完成。
6,XDLM237型鍍層測厚及材料分析儀完全滿足DIN ISO 3497標(biāo)準(zhǔn)和ASTM B 568標(biāo)準(zhǔn),型式許可符合德國“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®
237參數(shù)規(guī)格:
1,通用規(guī)格
設(shè)計(jì)用途
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能量色散X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀 (EDXRF) 用來測量薄鍍層和微小結(jié)構(gòu), 分析合金和微量組分。
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元素范圍
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從元素 氯(17) 到 鈾(92) 配有可選的WinFTM® BASIC軟件時(shí),多可同時(shí)測定24種元素
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形式設(shè)計(jì)
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臺(tái)式儀器,測量門向上開啟
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測量方向
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從上到下
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2,X射線源
X射線管
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帶鈹窗口的微聚焦鎢管
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高壓
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三檔: 30 kV,40 kV,50 kV
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孔徑(準(zhǔn)直器)
標(biāo)準(zhǔn)(523-440)
可選(523-366)
可選(524-061)
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4個(gè)可切換準(zhǔn)直器
[mm]: ?0.1, ?0.2, 0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: ?0.1, ?0.2,
?0.3, 0.3x0.05 [mm]: ?0.1, ?0.2, 0.3 x 0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制
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基本濾片
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3種可切換的基本濾片(標(biāo)準(zhǔn)配置:鎳,鋁,無)
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測量點(diǎn)
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取決于測量距離及使用的準(zhǔn)直器大小, 實(shí)際的測量點(diǎn)大小與視頻窗口中顯示的一致 小的測量點(diǎn)大小:光圈約? 0.1 mm(選用準(zhǔn)直器0.05x0.05
mm時(shí))
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3,X射線探測
X射線接收器
測量距離
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比例接收器
0 ~ 80 mm,使用保護(hù)的DCM測量距離補(bǔ)償法
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4,視頻系統(tǒng)
視頻系統(tǒng)
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高分辨率CCD彩色攝像頭,沿著初級(jí)X射線光束方向觀察測量位置 手動(dòng)聚焦,對(duì)被測位置進(jìn)行監(jiān)控 十字線(帶有經(jīng)過校準(zhǔn)的刻度和測量點(diǎn)尺寸) 可調(diào)節(jié)亮度的LED照明,激光光點(diǎn)用于精-確定位樣品
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放大倍數(shù)
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40x - 160x
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5,電氣參數(shù)
電源要求
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交流 220 V 50 Hz
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功率
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-大 120 W (不包括計(jì)算機(jī))
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保護(hù)等級(jí)
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IP40
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尺寸規(guī)格
外部尺寸
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寬x深x高[mm]:570 x 760 x 650
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內(nèi)部測量室尺寸
重量
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寬x深x高[mm]:460 x 495 x 146
120kg
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6,工作臺(tái)
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設(shè)計(jì)
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馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可編程X/Y平臺(tái)
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-大移動(dòng)范圍 255 × 235 mm
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X/Y平臺(tái)移動(dòng)速度 ≤ 80 mm/s
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X/Y平臺(tái)移動(dòng)重復(fù)精度 ≤ 0.01 mm, 單向
可用樣品放置區(qū)域 300 × 350 mm
Z軸
可編程運(yùn)行
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Z軸移動(dòng)范圍 140
mm
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樣品-大重量 5
kg,降低精度可達(dá)20kg
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樣品-大高度 140
mm
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環(huán)境要求
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使用時(shí)溫度
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10°C – 40°C
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存儲(chǔ)或運(yùn)輸溫度
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0°C – 50°C
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空氣相對(duì)濕度
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≤ 95 %, 無結(jié)露
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計(jì)算單元
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計(jì)算機(jī)
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帶擴(kuò)展卡的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)
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軟件
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標(biāo)準(zhǔn): WinFTM® V.6 LIGHT 可選: WinFTM® V.6 BASIC,PDM®,SUPER
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7,X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀XDLM 237執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
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CE合格標(biāo)準(zhǔn)
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EN 61010
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X射線標(biāo)準(zhǔn)
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DIN ISO 3497和 ASTM B 568
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型式批準(zhǔn)
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安-全而保護(hù)**的測量儀器, 型式許可符合德國“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
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8,X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀/X射線測厚儀/熒光膜厚儀訂貨號(hào)
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FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 237
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604-347
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如有特殊要求,可與FISCHER磋商,定制特殊的XDLM型號(hào)。
其他測量儀儀器:鐵素體測量儀SP10a、紫外線燈PS135、超聲波測厚儀27mg